多氟多進入國際領先半導體制造供應體系 ?
已有人閱讀此文 - -5月19日,多氟多新材料股份有限公司發布公告稱,多氟多正式進入臺灣積體電路制造股份有限公司南京工廠(以下簡稱“臺積電”)合格供應商體系。這標志著半導體行業關鍵原材料的國產化再下一城。當日多氟多董事長李世江接受了中國化工報記者的獨家專訪。
臺積電是全球規模最大的半導體企業之一,代表著世界半導體工業的最高水平。李世江表示,在經過臺積電嚴格細致的文件審查、現場審核和多輪上線測試后,多氟多正式進入臺積電合格供應商體系,目前已經開始向臺積電(南京)有限公司批量交付高純電子化學品材料。
電子級氫氟酸是電子化學品中的重要組成部分,主要用于集成電路和超大規模集成電路芯片的清洗和刻蝕工序。多氟多生產的電子級氫氟酸品質達到UPSSS級,產品純度達到PPT級,是目前半導體用電子級氫氟酸的最高級別。
李世江表示,世界高端半導體市場長期以來被國外企業所壟斷,我國半導體產業發展的關鍵設備和八成以上的關鍵原材料長期依賴進口,嚴重影響了我國半導體產業的健康有序發展。自2015年開始,多氟多以半導體市場8英寸客戶為起點,不斷研究新技術、開拓新市場,以電子級氫氟酸為代表的高純電子化學品接連取得重要突破,并逐漸被國內國外的半導體龍頭企業所認可和使用。
據了解,自2018年開始,多氟多的高純電子化學品相繼成功進入美國、韓國等全球領先半導體公司的供應鏈,并逐步大批量供應國內多條8英寸和12英寸半導體芯片產線。同時,多氟多電子級硅烷產品已開始供應臺積電臺灣工廠,中芯國際、海力士、長鑫存儲等半導體企業都已開始測試。
為更好地滿足半導體產業對電子化學品持續增長的需求,多氟多正在建設年產3萬噸超凈高純電子級氫氟酸、年產3萬噸超凈高純濕電子化學品、100噸高純乙硅烷、100噸高純氟氮混合氣、300噸高純四氟化硅等項目,今年下半年將陸續建成投產,并根據市場情況逐步釋放產能。
李世江表示,站在能源革命和數字化革命的交點上,聚焦攻克“卡脖子”難題,經過“十年磨半劍”的技術創新積淀,多氟多進入了健康發展的快車道。